В начале 1760-х годов в Тулузе по инициативе церковных властей было возбуждено судебное дело против протестанта Жана Каласа, обвиненного в убийстве сына, якобы за то, что тот собирался перейти в католичество. Процесс велся с нарушением всех юридических норм, привлекались лжесвидетели, обвиняемый был подвергнут жестоким пыткам, но так и не признал себя виновным. Тем не менее по приговору суда он был четвертован, а тело его было сожжено. Вольтер длительное время занимался собиранием материалов для пересмотра дела, привлек к нему авторитетных юристов, а главное — мировое общественное мнение. Пересмотр дела Каласа, закончившийся посмертной реабилитацией и возвращением прав его семье, превратился в обличение религиозного фанатизма и судебного произвола. Почти одновременно в той же Тулузе было возбуждено аналогичное дело против другого протестанта Сирвена, которому вовремя удалось бежать из города и спастись от расправы. Вольтер добился оправдания и в этом случае. Третий процесс обрушился на молодого человека — кавалера де Ла Барра, обвиненного в осквернении святынь и в атеизме. В качестве одной из улик фигурировал найденный у него «Философский словарь» Вольтера. Ла Барра казнили, предварительно вырвав ему язык. В эти годы лозунгом Вольтера, которым он начинал все свои письма, был: «Раздавите гадину!» (т. е. католическую церковь). Известны его выступления против судебного произвола и беззаконий в ряде других процессов.

В последние годы жизни имя «Фернейского патриарха» было окружено ореолом всемирного признания, но вернуться в Париж он не решался, опасаясь возможных репрессий. Только после смерти Людовика XV, когда у многих современников возникли надежды на более либеральное правление его преемника (иллюзии, оказавшиеся кратковременными), он позволил убедить себя и весной 1778 г. приехал в столицу. Вольтера ожидал настоящий триумф — толпы народа встречали его карету с цветами, в театре Французской Комедии он присутствовал на представлении своей последней трагедии «Ирена», актеры увенчали его бюст лавровым венком. Через несколько дней Вольтер скончался. Его племянник увез тело тайком из столицы, предвидя возможные осложнения с похоронами — церковь не упустила бы случая свести с ним счеты. Действительно, на следующий день после похорон (в аббатстве Сельер в Шампани) пришло запрещение местного епископа хоронить Вольтера. В 1791 г. его прах был перенесен в Пантеон в Париже. Обширная библиотека Вольтера, хранящая множество его помет на полях, была куплена Екатериной II у его наследников и в настоящее время хранится в Российской национальной библиотеке в Санкт-Петербурге.

По своим философским взглядам Вольтер был деистом. Он отрицал бессмертие и нематериальность души, решительно отвергал учение Декарта о «врожденных идеях», противопоставляя ему эмпирическую философию Локка. В вопросе о Боге и об акте творения Вольтер занимал позиции сдержанного агностика. В «Трактате о метафизике» (1734) он привел ряд доводов «за» и «против» существования Бога, пришел к выводу о несостоятельности тех и других, но уклонился от окончательного решения этого вопроса. К любым официальным вероучениям он относился резко отрицательно, религиозные догмы и обряды высмеивал как несовместимые с разумом и здравым смыслом (особенно в «Объясненной Библии», 1776, и «Философском словаре», 1764), однако считал, что критику религии может позволить себе только просвещенная элита, между тем как простой народ нуждается в религиозном учении как сдерживающем нравственном начале («Если бы Бога не было, его надо было бы выдумать»). Разумеется, такую религию он мыслил себе свободной от принуждения, нетерпимости и фанатизма. В этом двояком подходе к религии сказался присущий Вольтеру «аристократизм» мышления, проявившийся и в его социальных воззрениях: выступая против нищеты, он, тем не менее, считал необходимым разделение общества на бедных и богатых, в котором видел стимул прогресса («Иначе кто стал бы мостить дороги?»).

В ряде философских вопросов взгляды Вольтера заметно эволюционировали. Так, до 1750 г. он, хотя и с оговорками, разделял оптимистическое миропонимание, свойственное европейскому Просвещению на раннем этапе (Лейбниц, Шефтсбери, А. Поуп), и связанный с ним детерминизм — признание причинно-следственной связи, господствующей в мире и создающей относительный баланс добра и зла. Эти взгляды отразились в его ранних философских повестях («Задиг», 1747) и поэмах («Рассуждение о человеке», 1737). В середине 1750-х годов Вольтер отходит от этой концепции и предпринимает решительную критику оптимистической философии Лейбница. Толчком послужил, с одной стороны, его прусский опыт, с другой — Лиссабонское землетрясение 1755 г., разрушившее не только большой город, но и оптимистическую веру многих современников в мудрость всеблагого высшего Промысла. Этому событию посвящена философская поэма Вольтера о гибели Лиссабона, в которой он прямо выступает против теории мировой гармонии. На более широком материале эта полемика развита в философской повести «Кандид, или Оптимизм» (1759) и ряде памфлетов («Невежественный философ» и др.).

Большое место в творчестве Вольтера занимают исторические труды. В первом из них, «История Карла XII» (1731), дается жизнеописание шведского короля, который, по мысли Вольтера, представлял архаичный, обращенный в прошлое тип монарха-завоевателя. Его политическим антагонистом выступает Петр I — монарх-реформатор и просветитель. Для многих теоретиков государственной власти фигура Петра представлялась в ореоле идей «просвещенной монархии», который они тщетно искали среди западноевропейских правителей. Для Вольтера сам выбор этой антитезы (Карл — Петр) подтверждал его основную философско-историческую идею: борьбу двух противоположных принципов, олицетворяющих прошлое и будущее и воплощенных в выдающихся личностях. Книга Вольтера написана как увлекательное повествование, в котором динамичное действие сочетается с беспощадной меткостью оценок и живым искусством портрета героев. Такой тип исторического повествования был совершенно новым и резко контрастировал с официальными славословиями и скучной фактографией, которые господствовали в исторических сочинениях его времени. Новым было и обращение к только что отшумевшим, современным событиям. Тридцать лет спустя Вольтер вновь обратился к фигуре Петра — на этот раз в специальном труде, написанном по поручению русского двора: «История России в царствование Петра» (1759–1763). В эти годы, когда его особенно волновала проблема вмешательства церкви в дела государства, для него на первый план выдвинулась независимая политика Петра, ограничившего полномочия церкви чисто религиозными делами.

Анализу недавнего прошлого национальной истории посвящен фундаментальный труд «Век Людовика XIV» (1751), в котором Вольтер развертывает широкую панораму жизни Франции при предыдущем царствовании. В отличие от традиций историографии того времени, писавшей истории королей и военных походов, Вольтер подробно останавливается на экономической жизни, на реформах Кольбера, на внешней политике, религиозных спорах и, наконец, на французской культуре «золотого» классического века, которую Вольтер высоко ценил. Книга Вольтера была запрещена цензурой не только из-за критической оценки покойного монарха, но и из-за слишком явного контраста блестящего прошлого века и ничтожного нынешнего.

Самым значительным историческим сочинением Вольтера явился его труд по всемирной истории «Опыт о нравах и духе народов» (1756), представляющий по замыслу и широте охвата известную аналогию с трудом Монтескьё «О духе законов». В отличие от своих предшественников, начинавших историю рода человеческого с грехопадения Адама и Евы и доводивших ее до эпохи переселения народов, Вольтер начинает историю человечества с первобытного состояния (о котором отчасти судит по описаниям жизни дикарей на далеких островах Тихого океана) и доводит ее до открытия Америки. Здесь особенно отчетливо выступает его философия истории: мировые события подаются под знаком борьбы идей — разума и суеверий, гуманности и фанатизма. Тем самым историческое исследование подчинено у Вольтера все той же публицистической и идеологической задаче — разоблачению жрецов и священнослужителей, равно как и основателей религиозных учений и институтов.